G10.5 Array Repair
设备技术核心
- 高精度激光控制技术
- 自动维修技术
- FSM技术
- CVD Alloy合金技术 （科韵专利）
- Ag/PR INK技术
- 低成本1μm Cut技术
设备应用场景
- 显示面板行业阵列制程金属线路断路维修
- 显示面板行业阵列制程金属线路残留维修
- 显示面板行业阵列制程光刻残胶残留维修
- 应用于G10.5代线 玻璃基板尺寸3370×2940mm
| 产品 | G10.5 Array Repair |
| Array:2Cycle： | AG Line Inkjet Process =>2Cycle +线宽（7um）+膜厚（＞1500A） |
| Inline Ink | 140s |
| Final Ink | 200s |
| Array CUT | 1点 42s |
| Array CVD： | Line CVD Processing=>2cycel+线宽（5um）+厚度（＞2000A）120s 126s |
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